产品名称:
AL2O3+GaN薄膜(半绝缘型)
技术参数:
常规尺寸:dia2"
产品定位:C轴<0001>+/-1.0
厚度:30um or 90um
传导类型:半导体型
电阻率(300K):>106ohm.cm
位错密度<1x10E8cm-2:
可用表面积>90%
标准包装:
1000级超净室,100级超净袋或单片盒封装